蓝眼镜与爱思强合作评估其RPCVD技术爱游戏登陆

日期:2019-01-02 作者:Pankaj辛格 类别:#新闻

蓝眼镜与爱思强合作评估其RPCVD技术爱游戏登陆

清洁技术创新者BluGlass Limited最近宣爱游戏登陆布将与领先的半导体设备公司爱思强(Aixtron SE)合作,评估BluGlass独特的远程等离子体化学气相沉积(RPCVD)技术。显然,为了将RPCVD扩展到大规模生产能力,BluGlass选择了AIX 2800G4-HT系统。

据称,爱思强的行星反应堆(Planetary Reactor®)具有一流的半导体薄膜均匀性,因为其在沉积过程中具有专利的晶圆旋转轴。RPCVD技术允许I爱游戏登陆II-V氮化物的低温沉积,这可能会提高设备的性能。RPCVD首次集成到AIX 2800G4-HT似乎将在位于澳大利亚悉尼的BluGlass Silverwater工厂进行。

蓝眼镜董事总经理贾尔斯·伯恩(Giles Bourne)提到,该公司得到了爱思强(Aixtron)对蓝眼镜技术这一重大扩展项目的支持。爱游戏登陆这是证明RPCVD在大规模生产中的商业可行性的关键一步。

爱思强集团创新官Ken Teo博士表示,该公司一直致力于在其平台上引入新技术,为客户提供先进的功能。

Teo博士进一步表示,爱思强寻求探索RPCVD技术在氮化层低温沉积方面的潜力,这可能进一步为光电设备开辟新的可能性爱游戏登陆。他补充说,该公司期待与蓝眼镜公司合作集成RPCVD,并对该技术进行评估。爱游戏登陆

据报道,爱思强SE的技术解决方案被全球广泛的消费者用爱游戏登陆于构建基于有机或化合物半导体材料的先进光电和电子应用组件。这些组件被用于各种创新应用、行业和技术。

据称,BluGlass公司发明的一种新工艺使用RPCVD来生长氮化铟镓(InGaN)和氮化镓(GaN)等先进材料。由于其灵活性和低温特性,与现有技术相比,RPCVD技术提供了许多潜在的好处,包括可扩展性、低成本、更高的效率爱游戏登陆和衬底灵活性(包括硅上GaN)。



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